扫描电镜样品太大放不进去怎么办?
日期:2025-04-11
当扫描电镜(SEM)样品太大、无法放入样品舱时,可以通过以下几种方式解决或绕开限制:
解决思路与方法:
1. 切割或缩小样品尺寸
优点:直接解决体积过大问题,适用范围广。
做法:使用切割机、研磨设备将样品切成适合尺寸的片状或块状。
注意:切割面需打磨平整,并确保目标观察区域未被破坏。
2. 选择适配的样品台或夹具
使用特殊定制样品托盘或低矮型样品夹,降低样品整体高度;
一些 SEM 支持替换小型样品舱盖,提供更高的容纳空间。
3. 倾斜安装样品
将样品倾斜放置,避免因高度限制无法关腔门;
但可能会影响观察角度或需重新校正工作距离。
4. 选择大舱体或台式兼容设备
更换为具备大样品舱或**高工作距离(WD)的扫描电镜型号;
某些台式或桌面 SEM 专为大型样品(如 PCB 板、整块器件)设计。
5. 只观察局部区域
如果样品不能整体放入,可:
切割下目标区域;
或借助复制技术(如用硅胶模具转印结构,再观察复制品)。
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作者:威尼斯886699
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