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扫描电镜样品太大放不进去怎么办?

日期:2025-04-11

当扫描电镜(SEM)样品太大、无法放入样品舱时,可以通过以下几种方式解决或绕开限制:

解决思路与方法:

1. 切割或缩小样品尺寸

优点:直接解决体积过大问题,适用范围广。

做法:使用切割机、研磨设备将样品切成适合尺寸的片状或块状。

注意:切割面需打磨平整,并确保目标观察区域未被破坏。

2. 选择适配的样品台或夹具

使用特殊定制样品托盘或低矮型样品夹,降低样品整体高度;

一些 SEM 支持替换小型样品舱盖,提供更高的容纳空间。

3. 倾斜安装样品

将样品倾斜放置,避免因高度限制无法关腔门;

但可能会影响观察角度或需重新校正工作距离。

4. 选择大舱体或台式兼容设备

更换为具备大样品舱或**高工作距离(WD)的扫描电镜型号;

某些台式或桌面 SEM 专为大型样品(如 PCB 板、整块器件)设计。

5. 只观察局部区域

如果样品不能整体放入,可:

切割下目标区域;

或借助复制技术(如用硅胶模具转印结构,再观察复制品)。

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作者:威尼斯886699