扫描电镜（SEM）可以非常有效地检测金属表面的缺陷。它是材料表面分析中常用、可靠的工具之一，尤其适用于微米甚至纳米级别的缺陷观察。

SEM 能检测的金属表面缺陷类型包括：

裂纹与微裂纹

可观察早期疲劳裂纹、应力腐蚀开裂等，适用于失效分析。

孔洞与气孔

可识别焊接或铸造过程中产生的微小孔洞、疏松等问题。

表面划痕与划伤

放大后能清晰看到机械损伤、划伤深度和方向。

表面粗糙度与加工痕迹

可定性观察磨削、抛光、腐蚀等加工痕迹。

氧化层、腐蚀坑等化学反应结果

与能谱（EDS）联用，还能判断腐蚀产物成分。

颗粒污染或异物附着

检测金属表面是否有附着的颗粒、灰尘或其他杂质。

使用建议：

低加速电压成像（如5–10 kV）：适用于表面细节观察，避免电子束穿透。

使用二次电子模式（SEI）：提供表面形貌的高对比图像。

搭配能谱仪（EDS）：进一步识别缺陷区域的元素组成。

断口分析：配合断口制样，可判断金属断裂的方式（如韧性断裂、脆性断裂等）。

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