扫描电镜（SEM）图像边缘模糊的确可能与调焦不当有关，但这只是众多可能原因之一。下面是一些常见导致图像边缘模糊的原因和对应解决方法：

1. 调焦未精准对齐整个视野

原因：SEM 的焦点通常只对准了中心区域，边缘离焦；

应对：

手动或自动对焦后，移动样品位置对不同区域重新微调焦距；

使用“Z 轴调节”或“工作距离”微调，确保整个图像平面都在焦点上。

2. 样品表面不平或倾斜

原因：样品倾斜，导致边缘区域与电子束焦点不在同一平面；

应对：

使用倾斜台调整样品角度；

或更换为表面更平整的样品。

3. 工作距离设置不当

原因：不同工作距离对应不同的景深，如果设置不合适，边缘会模糊；

应对：

缩短工作距离以提高分辨率；

或根据样品形状调整最适景深。

4. 放大倍率过高但聚焦未同步优化

原因：高倍率时图像更敏感，轻微离焦也会导致模糊；

应对：

增加放大倍率时，重新调焦；

注意使用适当的扫描速度避免噪声干扰焦点。

5. 电子束发散或透镜不稳定

原因：镜头系统未充分稳定或电磁干扰；

应对：

确保电子束稳定运行；

尽量减少外部电磁干扰源，如移动手机、电风扇、电焊机等。

 6. 样品表面带电

原因：非导电样品未进行金属镀膜，边缘区域电荷积累；

应对：

对样品进行导电镀膜（如金、铂、碳）；

或在低真空模式下观察以减少充电效应。

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