扫描电镜（SEM）图像在放大后出现模糊，是较常见的问题，影响微纳米结构观察的清晰度与分辨率。出现模糊的原因可能来自多个方面，以下是常见原因及对策：

常见原因与应对策略

1. 没有准确对焦

表现：图像整体模糊，边缘无清晰轮廓。

解决方法：

重新使用焦距（focus）和工作距离（WD）进行精细调焦；

建议在低倍率对焦，然后逐步放大并继续微调；

可启用“行扫描”或“慢扫描”模式提高对焦准确性。

2. 样品未固定牢靠或漂移

表现：图像边缘模糊拖影，焦点对不上。

解决方法：

检查样品是否牢固贴在样品台上；

使用导电胶或碳胶加固样品；

避免在高倍率下使用移动不稳定的样品区域。

3. 电子束未聚焦良好（电子光学问题）

表现：图像中央或整体模糊，不随调焦变化改善。

解决方法：

调整束斑大小（spot size）；

如果设备支持，进行“聚焦校正”或“束斑调整”；

检查电子枪是否需要更换或维护。

4. 加速电压选择不当

表现：图像发虚、对比度差，尤其在非导体样品上更明显。

解决方法：

对导体样品可适当提高加速电压（如10–20 kV）；

对非导体样品建议使用低电压成像（如1–5 kV）以减少充电效应；

多试不同电压，找出图像清晰时的工作条件。

5. 样品表面带电或不导电

表现：局部模糊、拖尾、闪烁等伪影。

解决方法：

为样品镀金、碳或铂等导电膜；

确保样品台与样品之间导电良好；

使用低真空模式（如LowVac或VP模式）抑制充电。

6. 过度放大超过仪器分辨极限

表现：放大后图像看似模糊，其实是设备分辨率限制。

解决方法：

避免“数字放大”（Digital Zoom），应使用光学/系统原生放大；

检查SEM说明书中分辨率极限，不建议超过其倍率；

若需更高分辨率，应使用场发射SEM（FE-SEM）。

7. 像差未校正（Stigmation）

表现：图像出现拉伸、椭圆模糊，特别在高倍率下更严重。

解决方法：

使用SEM控制界面中的“Stigmator”功能进行图像矫正；

通常需在每次对焦或切换放大倍率后重新调整。

建议的调试流程（顺序）

降低倍率，初步对焦

逐步放大，每一级放大后重新对焦与像差校正

调整加速电压与束斑大小

检查样品是否稳定并良好导电

使用慢扫描模式获取高清图像

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