扫描电镜（SEM）图像出现抖动（flickering / jittering），是一种常见但令人困扰的问题，图像可能表现为轻微跳动、震荡或边缘模糊，影响成像质量和精度。抖动通常不是随机的，而是由特定因素引起的。下面是常见原因及对应解决方法：

图像抖动的常见原因及解决方案

1. 环境干扰

表现：图像周期性或不规则抖动，尤以放大倍率高时明显。

原因：

地面震动（如靠近地铁、电梯、重型设备）；

空调、电机、电焊等引起的电磁干扰；

室内气流波动（门窗频繁开合、风机对着设备）。

解决方法：

将SEM安置在防震平台或低震区；

保持室内恒温恒湿，避免强气流；

避免与强电设备共用电源或布线，确保良好接地。

2. 扫描电子束不稳定

表现：图像边缘发虚或跳动，无法精确聚焦。

原因：

电压电流不稳定；

场发射源或灯丝老化；

高压电源模块故障或调节失常。

解决方法：

预热设备，待电子枪稳定；

降低加速电压尝试成像；

如问题持续，联系工程师检查电子枪或电源系统。

3. 样品充电效应

表现：图像局部抖动明显，边缘拖尾或闪动。

原因：非导体样品表面积聚静电，干扰电子束扫描。

解决方法：

使用金属（如金、铂、碳）导电镀膜；

降低加速电压；

使用低真空或环境模式（若设备支持）；

确保样品与样品台导电良好。

4. 样品台机械不稳

表现：图像微抖，有时伴随位置漂移。

原因：样品台或托盘结构松动、驱动机构磨损。

解决方法：

检查样品是否固定牢靠；

检查样品台是否到位、有无间隙或卡滞；

若长期出现，建议由专业技术人员检修样品台。

5. 软件参数设置不当

表现：快速扫描时抖动严重，慢扫描较稳定。

原因：

扫描速度设置过快；

同步或积分设置不足，抗干扰能力差。

解决方法：

采用慢速扫描模式；

开启“帧平均”或“积分扫描”功能；

调整扫描参数提升图像稳定性。

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