ZEM系列台式扫描电镜-能谱一体机采用自主研发的钨灯丝电子枪，加速电压最高20KV可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式Oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。

• 能谱仪参数

▲ 集成OxfordXploreCompact30能谱分析系统SuperATW窗口30mm2面积活区

▲ 分辨率优于129eV（MnKα处）无需液氮冷却

▲ 分析元素范围：B5-Cf98

▲ 点、线、面扫描分析

▲ 全中文软件操作界面（中英文切换功能）

• 电镜主机特色

▲ 真空分隔技术 ：采用独特真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。

▲ 超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。

▲ 超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。

▲ 选配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。

▲ 仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化。

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