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采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台,内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构,确保了扫描台的运动精度。
采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台,内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构,确保了扫描台的运动精度。扫描台内置精移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。聚焦行程可达100微米。分体的螺纹适配器,可适配多种型号的物镜。
产品参数
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