在扫描电镜 (SEM) 使用过程中，漂移与失焦问题会影响图像的清晰度与精度。以下是应对这些问题的详细方法：

1. 减少样品漂移的方法

1.1 等待热稳定 (Thermal Stabilization)

原因: 样品刚放入时可能因温度变化导致热膨胀或收缩，从而引发漂移。 

解决办法: 等待 10-30 分钟 让样品与真空室温度平衡。 

尤其是对于金属或复合材料样品，热稳定更为重要。 

1.2 降低束流强度 (Beam Current)

原因: 过高的电子束流强度会引发样品局部加热，导致漂移。 

解决办法: 使用较低的 探针电流 (Probe Current)，在保证成像质量的前提下尽量减少电流强度。 

选择合适的 Spot Size（束斑大小）。 

1.3 增加真空度

原因: 较低的真空度会导致残余气体吸附或释放，从而引起样品移动。 

解决办法: 尽量提高真空度（如 < 1010^{-5}10 Pa）。 

使用 低温除气 (Bake-Out) 或 预除气 (Pre-Baking) 方法去除表面吸附的气体分子。 

1.4 减少磁场和振动干扰

原因: 外部磁场与机械振动可导致样品漂移。 

解决办法: 使用 防震台 和 磁屏蔽装置。 

尽量避免在设备旁运行大型电机或其他磁性设备。 

1.5 固定与导电处理

原因: 样品固定不稳或充电效应会导致漂移。 

解决办法: 使用 导电胶 或 铜带 固定样品，并确保良好接地。 

对非导电样品进行 镀金、镀碳 等导电处理。 

2. 减少失焦问题的方法

2.1 优化加速电压 (Acceleration Voltage)

原因: 过高的加速电压会增加样品内部散射，导致失焦。 

解决办法: 根据样品材质选择合适的加速电压（如 1-5 keV 适合薄膜、低密度样品；10-20 keV 适合金属、厚样品）。 

2.2 校准焦平面 (Focal Plane Calibration)

原因: 电子束的焦平面偏离会导致失焦。 

解决办法: 使用 SEM 自带的自动对焦 (Auto Focus) 或 聚焦斑点 (Stigmator) 功能。 

手动调节 Working Distance (工作距离)，使其与设备值一致（通常为 5-10 mm）。 

2.3 消除充电效应 (Charge Effect)

原因: 非导电样品会产生充电效应，导致电子束散射和失焦。 

解决办法: 使用 低真空模式 (Low Vacuum / VP-SEM) 或 环境扫描电镜 (ESEM)。 

进行 金属镀膜 (如 Au, Pt) 或涂覆导电漆。 

2.4 使用 Astigmatism 校正

原因: 非轴对称的磁场或电子光学系统误差会导致像差（Astigmatism），引起失焦。 

解决办法: 调节 消像散器 (Stigmator) 的 X 轴与 Y 轴，直至图像边缘清晰、圆形物体无拉伸。 

2.5 控制环境温度与湿度

原因: 温度变化会导致电子枪、样品台等部分发生形变，引起失焦。 

解决办法: 保持室温 20-25°C，湿度 30-50%。 

设备开机后应先 预热 30 分钟以上。 

3. 软件方法与后期补偿

3.1 数字图像漂移校正 (Drift Correction)

功能: 使用 SEM 的 漂移校正功能（如 Cross-Correlation 方法）自动补偿因样品或环境引起的漂移。 

适合长时间曝光或高分辨成像时使用。 

3.2 图像叠加与后处理

方法: 使用 多次低剂量扫描叠加 (Frame Integration)，减少因漂移导致的模糊。 

后期使用图像处理软件（如 ImageJ 或 Igor Pro）进行对齐与锐化。

以上就是威尼斯886699小编分享的如何应对扫描电镜的漂移与失焦问题。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。