在扫描电镜 (SEM) 中减少样品的辐照损伤是保持样品结构完整性和获得高质量图像的关键。以下是一些有效的方法来减少辐照损伤：

1. 降低电子束能量

选择合适的加速电压: 对于敏感材料（如高分子、薄膜或生物样品），建议使用较低的加速电压（通常在 1-5 keV 范围内）。 

低能量电子可以减少样品表层的充电效应和损伤，同时提高表面信息的分辨率。 

2. 降低电子束电流 (Probe Current)

减少束流强度: 通过降低电子束电流（如使用低探针电流模式），可以减少单位时间内的电子剂量，进而降低样品的辐照损伤。 

适当调整 Spot Size（束斑大小）以平衡成像质量和样品损伤。 

3. 缩短曝光时间

快速扫描模式: 使用快速扫描（Fast Scan）模式减少单点的电子束驻留时间。 

或者分阶段、多次低剂量扫描，之后进行图像叠加处理，以提高信噪比而非一次性长时间曝光。 

4. 使用低真空或环境模式

低真空 (Low Vacuum / VP-SEM) 模式: 在低真空条件下，样品表面气体的存在可以中和充电效应，并减少电子束对样品的直接辐照损伤。 

环境扫描电镜 (ESEM): 适合含水或生物样品，能有效减少充电效应和辐照损伤。 

5. 冷冻技术 (Cryo-SEM)

低温样品处理: 冷冻样品可以减少辐照导致的加热效应和脱气。 

适合高分子和生物样品，避免形变、脱水和表面结构破坏。 

6. 选择适合的检测模式

二次电子 (SE) vs. 反射电子 (BSE): 二次电子 (SE): 适合低加速电压，表面信息丰富，能量低，损伤小。 

反射电子 (BSE): 能量高，穿透深，适合内部信息，但损伤相对较大。 

建议更多使用 SE 模式，尤其是对于表面敏感的样品。 

7. 金属镀膜处理

导电镀膜 (如 Au, Pt, C): 在样品表面进行超薄导电镀膜可减少充电效应，同时分散电子束能量，降低辐照损伤。 

通常，镀膜厚度控制在 5-10 nm，以避免影响细微结构的观测。 

8. 减少充电效应

使用导电胶或导电漆: 对于非导电样品，使用导电胶固定或喷涂导电漆可有效减少充电效应引起的损伤。 

接地处理: 保证样品与台面之间的良好接地，以减少电荷积累。 

9. 优化工作距离 (Working Distance)

适当增加工作距离: 增加工作距离可以减少电子束的入射角和能量密度，降低辐照损伤。 

但要注意与分辨率之间的平衡。 

10. 采用低剂量成像策略

Spot Mode 或 Probe Current Modulation: 采用剂量控制技术，减少敏感区域的辐照时间或剂量。 

区块扫描 (Patch Scanning): 分块扫描并逐一合成图像，减少连续曝光的热积累效应。 

11. 后期处理与图像叠加

图像叠加 (Frame Integration): 采用多次低剂量扫描，叠加图像以提高信噪比，避免一次性高剂量扫描。 

降噪处理 (Denoising): 使用软件算法进行降噪，减少因低剂量成像产生的噪点。 

以上就是威尼斯886699小编分享的如何减少扫描电镜样品的辐照损伤。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。