在扫描电镜（SEM, Scanning Electron Microscope）成像过程中，样品上的污染物会严重影响成像质量和分析结果。污染物可能来自样品制备过程、环境灰尘、油脂、残留溶剂，甚至是电子束辐照引起的碳污染。以下是有效的去除方法和建议：

 1. 物理清洁法

超声波清洗（Ultrasonic Cleaning）适用对象： 金属、陶瓷等硬质材料，不适用于易碎或多孔材料。

操作方法：将样品浸入适当的溶剂（如无水乙醇、丙酮或去离子水）。

使用超声波清洗机，清洗1-5分钟，防止时间过长导致表面损伤。

优点： 有效去除微粒、油脂和部分有机污染物。

注意： 多孔或柔软样品可能被损伤或吸水。

低压等离子清洗（Plasma Cleaning）适用对象： 绝大部分样品，尤其是去除碳污染和有机物。

操作方法：使用氩气（Ar）或氧气（O₂）等离子，处理2-10分钟。

氩等离子：去除表面物理污染物。

氧等离子：氧化有机污染物，转化为气体挥发掉。

优点： 不改变样品表面形貌，适合敏感样品。

注意： 氧等离子可能氧化某些金属样品（如铜、铝）。

吹拂与刷拭（Air Blowing and Brushing）适用对象： 颗粒污染物较多的样品。

操作方法：使用无油高纯氮气吹拂，避免压缩空气带来的油脂污染。

柔软的羊毛刷轻轻刷拭表面颗粒。

优点： 简单快速，适合颗粒污染物。

注意： 不适合细微污染物或油脂类污染。

2. 化学清洁法

有机溶剂清洗（Organic Solvent Cleaning）适用对象： 去除油脂、指纹和有机污染物。

常用溶剂： 丙酮、无水乙醇、异丙醇。

操作方法：将样品浸泡在溶剂中数分钟，轻轻晃动或用超声波辅助。

用无尘布或滤纸擦拭后，自然晾干或用氮气吹干。

注意： 部分材料（如塑料或某些薄膜）可能被溶剂溶解或损伤。

酸碱清洗（Acid or Alkali Cleaning）适用对象： 金属氧化物、锈迹或其他无机污染物。

常用溶液：稀盐酸或硝酸：去除金属氧化物。

氢氧化钠（NaOH）：去除有机酸污染。

操作方法：浸泡时间控制在几秒到几分钟，随后用去离子水冲洗干净。

用乙醇快速脱水，再用氮气吹干。

注意： 酸碱处理可能腐蚀样品，需谨慎。

3. 电子束污染处理（Beam-Induced Contamination）

低电压预处理（Low Voltage Pre-Treatment）问题： 电子束会引发碳污染，尤其在高电流条件下。

解决方法：先用低电压（如1-2 kV）扫描，去除表面吸附的污染物。

然后再逐步升高电压进行正式成像。

周期性等离子清洗（Regular Plasma Cleaning）问题： 长时间使用后，腔室内可能累积碳污染。

解决方法：定期使用氧等离子清洗SEM腔室，减少污染来源。

频率视使用情况而定（如每月一次）。

以上就是威尼斯886699小编分享的扫描电镜样品的污染物如何去除。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。