扫描电镜（SEM）的样品台通常可以倾斜，这一功能对于获得高质量成像效果和分析结果非常重要。

样品台倾斜的功能和作用

增强表面特征的可见性：

倾斜样品可以改变入射电子束与样品表面的角度，从而提高表面特征的对比度和清晰度。

特别是对于高度起伏的样品，倾斜有助于减少影像中的阴影区域。

提高信号收集效率：

倾斜样品可以增加二次电子或背散射电子的发射角，从而提高信号强度。

对于某些检测器（如背散射电子检测器），样品的倾斜有助于优化信号采集。

测量晶体取向：

在电子背散射衍射（EBSD）分析中，样品通常需要倾斜到 70° 左右，以优化衍射图案的信号强度。

元素成分分析：

在能谱分析（EDS）中，适当倾斜样品可以改善 X 射线的出射路径，减少信号吸收，提高分析精度。

样品台的倾斜范围

大多数 SEM 的样品台倾斜范围在 0° 到 90° 之间，但具体范围取决于设备的型号和样品台设计。

一些高精度样品台可能支持微小角度的调整，以便进行更加精细的优化。

倾斜样品的注意事项

样品高度限制：

倾斜样品后，其实际高度会增加，需要注意样品与电镜镜筒之间的距离，以避免发生碰撞。

视场变化：

倾斜样品会改变电子束在样品上的投影面积，可能导致视场形状从圆形变为椭圆形。

电荷积累和分辨率影响：

对于非导电样品，倾斜可能导致电荷分布不均，影响成像质量。

高倾斜角度下，图像分辨率可能会有所下降。

校准：

倾斜样品后，特别是用于测量的图像，需要校正透视效应和角度误差。

如何操作样品台倾斜？

通过 SEM 控制界面：

现代 SEM 设备大多配备了电动样品台，用户可以在软件界面中通过滑块或输入角度数值进行调整。

手动调整（旧型号或特殊设备）：

某些 SEM 可能需要手动调节样品台上的旋钮以设置倾斜角度。

倾斜的实时观察：

监控样品在屏幕上的图像，并根据成像需求逐步调整角度，直至达到理想效果。

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