在扫描电镜（SEM）中，样品涂层是常见的样品制备步骤之一，尤其是对于非导电样品。样品涂层的主要作用是增强成像效果，减少一些常见问题的影响。以下是样品涂层的具体原因及作用：

1. 防止电荷积累

原因：

扫描电镜依靠电子束与样品的相互作用成像，非导电样品容易发生电荷积累（charging effect）。这些积累的电荷会干扰电子束，导致图像出现伪影、亮斑或模糊。

涂层作用：

在样品表面沉积一层导电材料（如金、铂或碳），提供一个电子通路，使电荷能够流出，避免电荷积累对图像的影响。

2. 提高信号强度和图像质量

原因：

非导电或低导电性样品可能不能有效产生足够的二次电子或背散射电子信号，导致成像对比度低。

涂层作用：

导电涂层可以增强样品的二次电子发射，提高信噪比，从而获得更清晰的图像。

3. 保护样品表面

原因：

某些样品（如生物样品或软材料）在电子束辐照下可能会受到损伤（如烧蚀或表面形态改变）。

涂层作用：

涂层材料可以保护样品表面，减少高能电子束直接对样品的损伤。

4. 提高表面导电性的一致性

原因：

某些样品表面可能存在导电性不均匀的情况，会影响成像结果。

涂层作用：

均匀覆盖的涂层材料可消除导电性不均匀对电子束成像的影响，获得更均匀的图像。

5. 提高背散射电子信号的反差

原因：

背散射电子信号的强度与样品的原子序数（Z值）有关，某些低原子序数样品的信号较弱。

涂层作用：

在样品表面涂覆高原子序数的金属（如金或铂）可以增强背散射电子信号，改善图像反差。

常用涂层材料

金（Au）

高导电性和高原子序数，适用于高分辨率成像。

但涂层颗粒较大，不适合超高分辨率应用。

铂（Pt）或钯（Pd）

导电性好，颗粒较小，适合高分辨率要求。

碳（C）

原子序数低，不影响背散射电子成像的化学信息。

常用于能量色散 X 射线光谱（EDS）分析，以避免干扰。

铬（Cr）

表面涂层较薄，适合对样品细节的观察。

样品涂层的制备方法

溅射涂层（Sputter Coating）

适合金、铂等金属涂层。

均匀性好，涂层厚度可控。

真空蒸镀（Vacuum Evaporation）

常用于碳涂层。

涂层厚度适中，不会覆盖样品细节。

离子溅射法

用于细小颗粒的金属涂层制备。

以上就是威尼斯886699小编分享的扫描电镜中为何需要样品涂层。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。