如果在用扫描电镜（SEM）时发现图像有噪点或“发虚”，大致可以从以下几个方向排查并改进：

一、图像有很多噪点（画面颗粒感强）

这是信噪比低的表现，原因可能有：

扫描太快了，电子束在每个像素停留的时间太短，信号不够稳定；

束流太低，产生的二次电子信号太少；

没有进行多帧平均（Frame Averaging）；

样品导电性差，出现电子聚集现象（充电效应）；

解决办法：

降低扫描速度，让电子束在每个像素上多停一会；

稍微提高束流强度，让信号更强一点（但不要太高，避免烧样）；

打开 Frame Averaging 功能，多帧叠加可显著减少随机噪声；

样品如果不导电，可以考虑喷金、喷碳，或者加导电胶提升导电性。

二、图像发虚（细节模糊、边缘不清楚）

这通常和对焦不准或系统像差有关，也可能是样品漂移造成的。

原因可能包括：

聚焦没有调好；

像差校正没做；

样品高度不合适，工作距离设置错误；

样品受热漂移、震动或不稳定；

解决办法：

手动调焦时要慢慢来，先粗调，再细调；

使用 Stigmator 功能校正像差，尤其在高放大倍率下；

调整样品高度，让工作距离保持在建议范围内（比如 8mm 左右）；

样品装好后静置几分钟，让它温度和位置都稳定，再拍照；

如果样品不稳，建议用更强的胶固定或者减少外界干扰。

其他建议：

对焦和校正在稍低倍率下进行，再放大去拍高分辨图；

拍图时切换到“慢速扫描”或“积分模式”获取高质量的效果；

如果是非导电材料，电压不宜太高，建议用 3～5 kV，减少充电；

图像虚或漂移严重时，试着减小放大倍率排查是否是样品问题。