在扫描电镜（SEM）拍照时，要获得清晰对焦的图像，你需要合理调节一系列参数与操作流程。以下是对焦更清晰的实用技巧与步骤：

一、操作步骤：如何快速正确对焦

1. 选择高对比区域或边缘特征进行对焦

找一个有清晰边缘、纹理或纳米结构的区域来对焦；

平坦无特征的区域不容易对准焦点。

2. 使用“粗调 + 细调”结合的方式

先在较低倍率（比如 500×）下进行粗对焦；

然后切换到更高倍率（5000×、10000×）进行精细对焦；

记得：焦距在不同倍率下略有不同，建议逐级对焦。

3. 使用“Wobble”功能辅助对焦（如果支持）

Wobble 是交替振荡束流位置，用于优化“消像散”（Stigmator）时使用；

可边观察图像抖动边调整以获得锐利焦点。

二、关键参数调整技巧

4. 调整工作距离（WD, Working Distance）

通常WD 越短，景深越小，分辨率越高，成像更清晰；

 WD 范围：4~10 mm（具体依机型和探头而定）；

但注意太近会让样品表面易受电荷积聚影响。

5. 调节束流电流（Beam Current）

高束流有利于提高信噪比，清晰度更高；

但高电流也会引入样品损伤或模糊边缘，要平衡设置；

常用调节范围：几十 pA 到几 nA。

6. 适当使用聚焦调节（Focus）和像散校正（Stigmator）

使用 X/Y stigmator 调节消除图像拉伸或模糊；

特别是在高倍率（>10,000×）下对焦后，需再调 stigmator。

三、图像稳定与降噪建议

7. 等待热漂移稳定

开机后预热 20~30 分钟；

电镜温度稳定后成像更清晰，不容易漂移；

8. 使用慢速扫描提高成像清晰度

慢扫描减少扫描噪声；

如果图像模糊不清，可选择中等帧率 + 多帧叠加平均；

四、样品准备对成像清晰度的影响

9. 样品表面尽量平整、导电

凹凸不平或绝缘样品易产生伪影或充电模糊；

喷金、喷碳或蒸镀薄层金属膜有助于成像清晰。

10. 样品安装要牢固，避免震动

样品若晃动，即便对焦也会图像模糊；

建议使用碳胶、导电胶、银浆牢固粘贴。