扫描电子显微镜（SEM）需要真空环境，主要原因如下：

1. 电子束传播需要真空

避免电子与空气分子碰撞：

电子束在空气中会与气体分子碰撞，导致散射，降低成像分辨率。

在高真空环境下，电子束可以保持稳定并准确聚焦到样品表面。

2. 样品表面保持清洁

减少污染：

空气中的水蒸气、灰尘、油雾等会附着在样品表面，影响电子束与样品的相互作用。

真空环境可以减少污染，提高成像质量。

3. 二次电子和背散射电子的检测

减少气体干扰，提高信号检测效率：

电子与空气分子相互作用可能产生不必要的电离现象，干扰探测器的工作。

低压或高真空状态有助于提高信号收集效率，获得更清晰的图像。

真空等级

根据不同的 SEM 类型，所需的真空环境也有所不同：

高真空模式（High Vacuum SEM）

真空度：10^{-3}10 Pa ～ 10^{-6}10 Pa

适用于大多数导电样品（如金属、半导体）。

需要严格的样品前处理（如干燥、导电处理）。

低真空或环境 SEM（Low Vacuum / Environmental SEM, ESEM）

真空度：10^010 Pa ～ 10^210 Pa

适用于非导电样品或生物样品，可以引入一定气体（如水蒸气、氮气）。

允许观察未镀膜的绝缘样品，减少充电效应。

如何维持 SEM 真空环境？

预抽真空：

载物仓通过**旋片泵（前级泵）**抽气，降低到 1 Pa 左右。

高真空抽气：

使用涡轮分子泵或离子泵进一步降低压力，达到 SEM 工作要求。

防止泄漏：

确保样品仓密封完好，避免空气渗入。

及时更换 O 形圈密封件，检查真空系统状态。

以上就是威尼斯886699小编分享的扫描电镜在使用时是否需要真空环境。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。