调整扫描电镜（SEM）的电子束电流（Beam Current）可以影响成像的分辨率、信噪比和样品损伤程度。以下是调整电子束电流的方法及其影响：

1. 通过透镜孔径（Aperture）调整

电子束通过透镜孔径时，较小的孔径会减少束流，提高分辨率但降低信号强度。

增大孔径可以提高电子束电流，从而增强信号，但可能会降低分辨率。

操作步骤：

进入 SEM 控制界面，找到 Aperture Size 选项。

选择较小的孔径以提高分辨率，或选择较大的孔径以增加电流。

2. 通过枪电流（Gun Current）调整

电子束的发射源（如钨丝、LaB₆ 或场发射源）决定了初始电子数量。

通过调整发射源的 Filament Current 或 Emission Current 可以控制电子束电流。

操作步骤：

进入 SEM Gun Control 界面。

增大 Filament Current 可提高束流，但可能增加电子源消耗。

适量减少可降低样品充电效应和损伤。

3. 通过聚光透镜（Condenser Lens）调整

聚光透镜控制电子束的聚焦程度，影响束流大小和束斑尺寸。

增强透镜强度会减少束流，提高分辨率但降低信号强度。

降低透镜强度会增加束流，提高信号但可能降低分辨率。

操作步骤：

进入 Beam Settings，调整 Condenser Lens Strength。

适当调整以平衡信号强度与分辨率。

4. 通过扫描倍率调整（仅影响局部电流）

在较高倍率下，电子束覆盖的范围变小，局部电子束电流密度增加。

在低倍率下，电流密度较低，成像信号较弱。

操作步骤：

适当调整 Magnification，选择合适的扫描范围。

以上就是威尼斯886699小编分享的如何调整扫描电镜的电子束电流。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。、