扫描电镜（SEM）的标定（Calibration）主要用于确保测量的准确性，包括尺寸测量、放大倍率、电子束偏转等。标定通常涉及以下几个关键步骤：

1. 放大倍率和尺寸标定

目的：确保 SEM 显示的尺寸和真实物理尺寸一致。

方法：

使用标准样品（Calibration Standard），如硅光栅、金刚石网格、纳米刻线标样等。

选择已知尺寸的参考结构（如 100 nm 间距的光栅）。

在不同放大倍率下拍摄图像，并使用图像测量工具对比实际尺寸与标定尺寸。

调整 SEM 软件中的校准因子，使测量值与真实尺寸匹配。

2. 电子束偏转和扫描畸变校正

目的：减少束斑漂移、形变，提高扫描精度。

方法：

观察规则对称的标准样品，如方形网格或周期性结构，检查是否有失真。

调整 SEM 的扫描系统，使图像中的几何形状准确无误。

可能需要调整电子束的扫描校正参数。

3. 束流和工作距离标定

目的：优化束流和焦距，提高分辨率和深度对比。

方法：

选择高分辨率标准样品，如金颗粒或碳纳米管。

逐步调整 束流（Beam Current），观察对比度与清晰度。

调整 工作距离（Working Distance），确保成像效果。

4. 电子束聚焦和像散校正

目的：消除像散，提高成像清晰度。

方法：

逐步调整 消像散（Stigmator），优化电子束形状。

观察高放大倍率下的金颗粒样品，直到边缘清晰、无拖尾。

5. 能谱（EDS）标定（如适用）

目的：确保元素分析的能量精度。

方法：

使用已知成分的标准样品，如纯铜（Cu）、硅（Si）等进行 EDS 采集。

对比测得的峰位与已知元素的 X 射线能量，并调整光谱校准。

6. 透射（STEM）模式标定（如适用）

目的：用于纳米尺度样品的透射成像校准。

方法：

使用纳米尺度标准样品（如金属薄膜），确保透射模式下放大倍率和尺寸精准。

7. 记录标定数据并定期维护

记录所有校准参数，定期复查并调整。

避免环境变化（温度、振动、磁场等）影响 SEM 的稳定性。

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