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非导电样品在扫描电镜下如何成像?

日期:2025-03-24

非导电样品在扫描电镜(SEM)下成像时,由于电子束轰击样品会导致电荷积累,进而产生充电效应,这可能导致图像畸变、漂移甚至无法成像。以下是几种常见的成像方法:

1. 金属镀膜

在样品表面沉积一层导电薄膜(如金、铂、铬、碳等),形成导电路径,使积累的电子逸散:

热蒸发镀膜(金、铂等,适用于生物样品)

磁控溅射镀膜(均匀度好,适用于细腻结构)

碳镀膜(适用于 EDS/EBSD,不影响成分分析)

适用情况:适用于大多数高分辨率成像需求,但可能影响表面微观结构。

2. 低真空模式(环境扫描电镜,ESEM)

使用低真空(10-100 Pa)或潮湿环境,引入水蒸气或气体,提升电子散射,从而中和充电:

适用于未经镀膜的样品(如生物样品、陶瓷、聚合物等)

保持样品原始形貌

但分辨率略低于高真空模式

适用情况:适用于不希望破坏样品表面的情况,如生物样品、聚合物等。

3. 低加速电压成像

降低电子束加速电压(如 < 5 kV),减少电子穿透深度,降低样品的电荷积累:

低电压模式可减少表面电荷积累

适用于较薄或较低密度的非导电样品

分辨率较高,但可能信噪比降低

适用情况:适用于无镀膜成像,但对信号采集要求较高。

4. 充电补偿器

在 SEM 中引入低能量电子枪(如负电荷补偿枪),向样品表面释放低能电子,中和积累的正电荷:

需要特定的设备支持

适用于一些情况下的无镀膜成像

适用情况:适用于超高精度成像,但成本较高。

5. 使用导电胶或银浆固定样品

用导电胶(碳胶、银胶)或铜导电胶带连接样品与 SEM 样品台

减少电荷积累,提高电子泄放

适用于小样品,但不适用于大面积均匀成像

适用情况:适用于大块样品或局部区域分析。

以上就是威尼斯886699小编分享的非导电样品在扫描电镜下如何成像的介绍。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)

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作者:威尼斯886699