扫描电镜（SEM）的空间分辨率通常通过以下几种方法进行测定：

1. 使用标准分辨率测试样品

(1) 金颗粒标准样品（Gold on Carbon）

常用的金颗粒（Au on C）样品，由纳米级金颗粒随机分布在碳基底上，具有明确的边界，可用于分辨率测试。 

方法：调整电子束聚焦，观察最小可分辨的金颗粒尺寸，并记录相应的加速电压、探测模式等参数。 

(2) 线对分辨率样品（Resolution Test Chart）

USAF 1951测试图或SiO₂线栅，包含不同间距的图案，用于测定SEM的分辨能力。 

方法：调整焦距和束流，找到可以清晰分辨的最小线对，并计算相应的空间分辨率。 

2. 观察边界清晰度

选取具有锐利边界的样品（如金属纳米颗粒、硅刻蚀结构）。 

在高倍率下，观察边界的锐度，利用**边界扩展测量（Edge Spread Function, ESF）**计算分辨率。 

3. 计算半峰全宽（FWHM）

对图像中的细小结构（如纳米颗粒、台阶）做灰度分析，得到边缘强度变化曲线。 

计算曲线的半峰全宽（Full Width at Half Maximum, FWHM），可近似反映SEM的分辨率。 

4. 通过点扩散函数（PSF）测定

电子束的扩散会影响分辨率，可以通过测量点扩散函数（Point Spread Function, PSF）来评估。 

方法：使用孤立纳米颗粒，测量电子束作用下的信号扩散范围，分析其影响区域。 

5. 影响因素

电子束能量（加速电压）：高电压（>15 kV）适用于深部成像，但易导致电子散射，降低分辨率；低电压（<5 kV）适合表面高分辨成像。 

工作距离（WD）：较短工作距离可提高分辨率，但可能降低景深。 

物镜孔径（Aperture）：小孔径可减少散焦，提高分辨率。 

探测器模式：二次电子（SE）探测适合表面高分辨成像，背散射电子（BSE）探测适用于成分对比。

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