在扫描电镜（SEM）成像过程中，非导电样品容易产生充电效应，导致图像模糊、亮度不均、漂移或伪影。为了避免这些问题，可以采取以下措施：

1. 物理方法：提高样品导电性

(1) 喷涂导电涂层

对非导电样品（如生物样品、陶瓷、高分子材料）进行导电涂层处理，以提供电子通路：

常见涂层材料：金（Au）、铂（Pt）、碳（C）、银（Ag）、铬（Cr）。 

涂层厚度：建议 5–20 nm，避免影响微观结构细节。 

方法： 热蒸发（Thermal Evaporation）：适用于均匀薄层。 

溅射镀膜（Sputter Coating）：更均匀，可控性更好。 

碳蒸发（Carbon Evaporation）：适用于 EDS（能谱分析），避免 X 射线干扰。 

选择：

SE（二次电子）成像：Au、Pt 涂层。 

BSE（背散射电子）成像：C 涂层（避免高原子序数影响对比）。 

EDS 分析：C、Cr 涂层（避免元素干扰）。 

(2) 在样品表面喷涂导电胶

用 银浆（Silver Paint）、碳胶（Carbon Paste） 连接样品与样品台，提高导电性。 

适用于局部导电处理，如陶瓷或复合材料样品。 

(3) 选择合适的载物台

采用导电载物台（如铝台、铜台），增强电荷释放通道。 

使用导电胶带（Carbon Tape）将样品粘附，提高电荷泄放能力。 

2. SEM 操作参数优化

(1) 降低加速电压

高电压（>15 kV）易导致电子深层穿透，增加充电效应。 

低电压（1–5 kV）可以减少电子滞留，降低充电伪影。 

策略：

高分辨率成像：低电压（1–3 kV），减少样品充电。 

背散射成像：适当提高电压（5–10 kV），提升信号质量。 

(2) 采用环境扫描电镜（ESEM）

ESEM（Environmental SEM） 适用于潮湿、生物、非导电样品，通过低气压水蒸气中和充电。 

典型工作气压：100–1000 Pa。 

(3) 选择合适的探测器

低电压+二次电子探测器（SE） → 适合高分辨率成像。 

低电压+背散射电子探测器（BSE） → 适合成分对比，提高充电样品可视化效果。 

ESEM 模式+气体二次电子探测器（GSED） → 适合非导电材料。 

3. 样品安装与制备

(1) 增加导电路径

用导电胶带或银胶连接样品与样品台，确保电荷泄放。 

尽量减少样品悬空区域，避免孤立电荷积累。 

(2) 机械研磨或离子抛光

对表面不平整的样品进行机械研磨，减少局部电荷堆积。 

使用**离子抛光（Ion Milling）去除绝缘表层，提高导电性。 

4. 数据处理（后期补偿）

图像后处理：软件补偿亮度、对比度，减少充电伪影。 

多帧平均（Frame Integration）：提高信噪比，减少充电带来的条纹。

以上就是威尼斯886699小编分享的如何处理样品以避免在扫描电镜下发生充电伪影的介绍。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。