校正扫描电镜（SEM）的光束偏移方法

扫描电镜（SEM）光束偏移会导致成像不清晰、分辨率下降、甚至样品漂移。光束偏移通常由电磁透镜误差、充电效应、电子束漂移等因素引起，以下是有效的校正方法：

1. 电子束调整

(1) 调整枪偏压与灯丝

检查电子枪电压：不稳定的高压会导致电子束偏移 

优化灯丝饱和状态：调节灯丝电流，避免不均匀发射 

使用自动电子束校准功能（如设备内置 Gun Align 功能） 

(2) 电子束倾斜校正（Beam Tilt Correction）

在低倍率下观察一块均匀样品（如金属涂层） 

调节束流偏转（Beam Shift），使电子束中心回到视野中央 

使用对中透镜（Stigmator）优化电子束形状 

2. 透镜与消像散校正

(3) 调节物镜电流

电子束通过物镜（Objective Lens）会因磁场不均导致偏移 

适当调整物镜电流，使束斑聚焦于样品表面 

(4) 进行像散校正（Stigmation Correction）

逐步增加放大倍率，观察是否出现椭圆形光斑或条纹 

通过 SEM Stigmator X/Y 旋钮调整，使电子束形状均匀 

3. 充电效应控制

(5) 处理带电样品

绝缘样品可能因电子积累导致光束偏移，可采用： 降低加速电压（减少电荷积累） 

喷金或碳涂层增加导电性 

使用低真空模式降低充电效应 

4. 机械与环境因素优化

(6) 确保样品台水平

样品倾斜会影响电子束入射角，导致偏移 

检查样品高度（Working Distance, WD）是否正确 

(7) 稳定实验室环境

避免振动（如冷却水泵、电梯、电机干扰） 

减少电磁干扰（使用防磁罩、远离大功率设备） 

5. 自动校正功能

(8) 使用 SEM 内置对准功能

许多现代 SEM 具有**自动束流对准（Beam Alignment）功能 

可执行自动消像散（Auto Stigmation）减少人为误差。

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