在扫描电子显微镜（SEM）成像过程中，样品可能会受到污染，导致图像质量下降或影响分析结果。以下是一些防止污染的有效方法：

1. 预处理样品，减少污染源

清洁样品：使用超声波清洗、去离子水冲洗或等离子清洗去除表面污染物。 

干燥样品：避免水分残留，可使用烘干或真空干燥。 

避免手接触：用镊子或手套处理样品，防止皮脂污染。 

2. 控制真空腔内污染

定期清洁 SEM 样品腔：使用等离子清洗或低能电子束清洗去除沉积污染。 

避免使用高挥发性胶水或银漆：可选择低污染的导电胶或机械夹持方式固定样品。 

减少样品仓打开次数：频繁暴露空气可能带入水汽和有机污染物。 

3. 使用低束流和低加速电压

电子束与样品作用可能引发碳沉积污染，适当降低束流和电压可减少污染风险。 

4. 选择适当的样品涂层

绝缘样品需喷金、碳或铂，提高导电性并减少电子束诱导污染。 

5. 采用低污染 SEM 运行模式

低温 SEM（冷台）：对生物或挥发性样品可减少污染和损伤。 

环境 SEM（ESEM）：适用于含水或易挥发样品，可减少污染沉积。 

6. 维护 SEM 仪器

保持高真空状态，防止有机分子在样品上沉积。 

定期更换真空泵油，防止油蒸气污染。

以上就是威尼斯886699小编分享的如何防止样品在SEM成像过程中受到污染。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。