扫描电子显微镜（SEM）可以用于表面粗糙度分析，但其适用性取决于具体的测量需求和样品特性。SEM 提供高分辨率的表面形貌信息，可用于定性和定量分析粗糙度。以下是主要方法：

1. 直接观察表面形貌（定性分析）

SEM 能提供高分辨率的表面形貌图像，通过视觉分析可以识别表面的微观结构、颗粒分布、划痕、坑洞等特征。

2. 轮廓提取与 3D 重建（定量分析）

尽管传统 SEM 只能获得 2D 图像，但可以结合以下方法进行表面粗糙度测量：

(1) 断层分析（Tilted Imaging）

通过 多角度成像 计算表面粗糙度。 

适用于较大尺度的粗糙度评估，但精度受限。 

(2) 立体 SEM（Stereo SEM）

通过从不同角度拍摄两张图像，使用软件重建 3D 表面形貌。 

适用于测量微观结构的高度变化。 

(3) 使用图像处理软件

使用 ImageJ、MountainsMap 或 Matlab 对 SEM 图像进行灰度分析，计算粗糙度参数（Ra、Rq、Rz）。 

通过 傅里叶变换（FFT） 或 小波分析 计算粗糙度频谱。 

3. 结合 FIB-SEM 或 AFM 进行高精度测量

FIB-SEM（聚焦离子束-扫描电子显微镜） 可直接切割样品，进行 3D 体积重建，提高粗糙度测量精度。 

AFM（原子力显微镜） 可用于纳米级粗糙度分析，SEM 可提供辅助对比。 

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