判断扫描电镜（SEM）样品的导电性是否足够，对于获得清晰、无伪影的图像至关重要。导电性不足的样品容易导致电荷积累（charging effect），从而产生图像漂移、模糊和亮斑等问题。以下是常用的判断方法与技巧：

1. 观察图像伪影（Charging Artifacts）

导电性不足的典型特征：

图像漂移： 随着电子束扫描，样品上积累的电荷会使图像缓慢移动。

亮斑或暗斑： 在非导电区域，电子不能有效逸出，导致局部过曝或欠曝。

条纹或放射状图案： 电荷积累不均匀时，会产生不规则条纹或辐射状伪影。

边缘效应明显： 非导电样品在边缘区域更容易积累电荷，出现高亮边缘。

判断依据：

如果调节加速电压后伪影明显减少，通常意味着导电性不足。

 2. 检查电子束扫描响应

方法：

快速扫描： 使用快速扫描模式（如 TV 扫描模式），观察伪影变化。

导电性不足时： 图像会有明显漂移或亮暗变化。

导电性良好时： 图像稳定，细节清晰无漂移。

改变加速电压：

低加速电压（<5kV）： 对导电要求较低，伪影减少则说明导电性不足。

高加速电压（>15kV）： 伪影增强则可能是样品过厚或导电不均匀。

3. 使用背散射电子成像（BSE）

原理：

BSE 对电荷积累不敏感，适合判断导电性。

如果 二次电子（SE）图像有伪影而 BSE 图像正常，则可能是导电性不足。

判断依据：

BSE 图像清晰但 SE 图像模糊： 导电性问题。

两者均模糊： 可能是样品污染或厚度问题。

4. 使用低真空或环境扫描模式（ESEM）

原理：

在低真空模式下，腔体中的气体能中和积累的电荷。

如果低真空模式能改善图像质量，则意味着导电性不足。

判断依据：

低真空无伪影，高真空有伪影： 样品导电性不足。

 5. 测试样品的电阻率

方法：

使用四探针法或万用表测量样品表面电阻。低于 10⁶ Ω/cm²： 通常认为导电性足够。

高于 10⁹ Ω/cm²： 可能需要涂覆导电层。

 6. 观察导电涂层效果（如果已涂覆）

方法：

对非导电样品涂覆金、碳或铂导电层，通常厚度为 5-20 nm。

如果涂覆后伪影消失或显著减少，则说明导电性不足。

注意：

导电层不宜过厚，避免掩盖样品细节。

7. 通过信号反应时间判断（如 EBSD 应用）

原理：

导电性不足时，电子束会引起电荷积累，导致 EBSD 花样难以稳定。

观察 EBSD 花样刷新速度与稳定性 可间接判断导电性。

以上就是威尼斯886699小编分享的如何判断扫描电镜样品的导电性是否足够。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。