扫描电镜（SEM）可以提供多种类型的图像，涵盖不同的信息和样品特征。根据扫描电镜的工作原理和成像模式，常见的图像类型包括：

1. 二次电子图像（SEI - Secondary Electron Image）

成像原理：二次电子图像是通过探测从样品表面逸出的二次电子获得的。二次电子是由高能电子束与样品表面原子相互作用后释放出来的低能电子。

特点：提供样品表面的详细形貌信息。

高分辨率，适用于观察样品的表面形貌、微观结构、粗糙度等细节。

成像深度较浅，通常用于表面扫描。

对样品表面形貌有很高的灵敏度。

应用：观察材料的表面形态（如纳米颗粒、微观裂纹、表面粗糙度）。

观察表面缺陷、微裂纹等。

2. 后向散射电子图像（BSE - Backscattered Electron Image）

成像原理：后向散射电子图像是通过探测从样品表面反弹回来的高能电子（后向散射电子）获得的。它反映了样品的原子序数（Z）分布。

特点：显示样品的成分分布，例如高原子序数区域与低原子序数区域的对比。

对比度较高，可以区分不同材料或元素组成。

成像深度较深，适用于观察样品的整体结构。

图像的亮度与元素的原子序数有关，较重元素（高原子序数）会反射更多的电子，因此在图像中显示得更亮。

应用：检查材料的成分分布（例如金属和非金属区域的区分）。

观察不同材料的相结构或不同元素的分布。

3. X射线能谱图（EDS - Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）

成像原理：X射线能谱图不是传统的成像方式，但它通过分析从样品中激发出来的X射线来提供元素的化学成分信息。扫描电镜的电子束与样品相互作用，导致元素发出特征X射线。

特点：用于元素分析，可以提供元素的定性和定量信息。

能够识别并量化样品中存在的各种元素（从硅到铀）。

不同元素发出的X射线峰具有不同的能量，因此能够区分不同的元素。

应用：确定样品的化学成分，特别是金属、矿物、复合材料等。

微区的元素分析，用于分析不同区域的化学成分差异。

4. 电子背散射衍射图（EBSD - Electron Backscatter Diffraction）

成像原理：EBSD是通过电子束与晶体材料的晶面相互作用后，衍射出的电子束生成衍射图案来分析晶体结构信息。

特点：提供材料的晶体学信息，例如晶体取向、晶粒边界、相界等。

能够显示材料的晶粒尺寸、晶体取向和相位分布等信息。

可以进行晶界分析，帮助研究材料的宏观结构。

应用：研究材料的晶粒结构和取向。

对材料的应力、变形和晶界进行分析。

5. 透射电子显微镜（TEM）图像（结合FIB/SEM）

成像原理：扫描电镜与聚焦离子束（FIB）联用，可以制作超薄样品以便进行透射电子显微镜（TEM）分析。FIB用于制作样品薄片，扫描电镜则用于观察这些薄片的结构。

特点：结合FIB和SEM可以获得细节丰富的结构信息，常用于高分辨率分析。

提供样品的超微结构信息。

应用：观察样品的超微结构，分析晶体结构、缺陷等。

制作薄片以便TEM分析。

6. 三维成像（3D Imaging）

成像原理：扫描电镜可以通过多个角度或深度的扫描数据进行重构，生成样品的三维形貌。

特点：可以通过重复扫描不同深度的样品，重建出三维图像。

提供样品的高度信息和深度信息，适用于复杂结构的分析。

应用：样品表面及其结构的三维重建，特别适用于复杂的微观结构分析。

7. 低真空成像

成像原理：低真空模式下，扫描电镜可以在较低的真空环境中成像，适用于非导电样品。

特点：无需对样品进行金属涂层，也可以成像。

可以观察到湿度较高、易变形或不适合涂层的样品。

应用：成像湿润、软性或非导电材料，如生物样品、聚合物等。

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