在扫描电子显微镜（SEM）中，像散调整是确保图像清晰、细节准确的重要步骤。像散通常是由透镜中的电磁场不均匀性或样品倾斜引起的，以下是操作技巧和方法：

1. 确认像散的存在

症状：图像边缘模糊、拉伸或出现双影，尤其是在高放大倍率下。

初步判断：调整焦距时，图像清晰区域随焦点变化。

放大倍率越高，像散影响越明显。

2. 像散调整的基本流程

(1) 调整放大倍率

将放大倍率设置为 10,000x 或更高（建议高于实际观察所需倍率）。

高倍率下更容易观察到像散效果，便于调整。

(2) 优化焦距

使用对比鲜明的区域（如样品边缘或表面特征）调整焦距。

确保图像尽量清晰，为后续像散调整奠定基础。

(3) 使用像散校正器（Stigmator）

SEM 通常配备 X 和 Y 方向的像散校正旋钮或数字控制选项。

操作方法：调整 X 像散校正器，观察图像变化，直到图像清晰。

调整 Y 像散校正器，进一步优化清晰度。

反复微调 X 和 Y 方向，直到图像无拉伸、清晰锐利。

(4) 再次优化焦距

像散调整后，重新微调焦距，确保图像清晰度。

3. 像散调整技巧

(1) 选择适合的样品区域

选择表面平整、特征清晰的区域作为调整目标。

样品表面粗糙或特征模糊可能导致调整困难。

(2) 使用高对比度模式

切换到高对比度成像模式（如二次电子模式）以更清晰地观察像散效果。

(3) 小幅调整

像散校正器的调整应小幅度进行，避免过度校正导致新的像散。

(4) 注意环境稳定性

调整过程中避免外界振动和电磁干扰，这些因素可能影响成像稳定性。

4. 预防像散的措施

(1) 样品制备

平整表面：确保样品表面尽可能平整，减少倾斜。

导电涂层：对非导电样品进行金属涂层处理，减少电荷积累。

(2) 优化工作参数

使用适当的工作距离（Working Distance, WD），通常在 5-10 mm 范围内。

选择合适的加速电压（一般低电压对像散的敏感性较低）。

(3) 定期校准

定期校准 SEM 的电子光学系统，确保透镜性能。

5. 像散调整失败的应对措施

(1) 检查样品

样品表面是否有污染或损伤。

样品是否固定牢固，避免倾斜或晃动。

(2) 检查设备

检查透镜是否有电磁场不稳定或漂移现象。

确保 SEM 的真空系统正常运行，避免电子束受气体干扰。

(3) 降低放大倍率

如果在高倍率下无法校正像散，尝试降低放大倍率进行初步调整。

6. 像散调整的实践经验

熟悉调整响应：不同 SEM 设备的像散校正器响应速度和灵敏度可能不同，多加练习以掌握。

分步调整：先调整 X 方向，再调整 Y 方向，避免同时调整导致混乱。

保存设置：对固定样品或相同实验条件，记录校正参数，便于重复使用。

以上就是威尼斯886699小编分享的扫描电镜消像散调整的操作技。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。