SEM扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面并捕捉其反射、散射或二次电子发射等信号进行成像的高分辨率显微技术。SEM的测量范围取决于其加速电压、焦距、探针电流等参数，一般来说，SEM的测量范围可以从亚纳米级到毫米级不等。

具体来说，低加速电压和小探针电流可以提高SEM的表面灵敏度和成像分辨率，适合对表面细节、纳米结构、微小颗粒等进行观察和分析，其测量范围一般在亚微米至几毫米左右；而高加速电压和大探针电流可以提高SEM的透射深度和成像速度，适合对比较厚的样品、大面积表面形貌等进行观察和分析，其测量范围可以扩展至数毫米。因此，SEM是一种非常灵活和多功能的显微技术，可以满足不同应用领域的观察和分析需求。

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